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最新成型/平面研削盤にみる新技術の紹介
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最新成型/平面研削盤にみる新技術の紹介 (5/10)


1.2 高精度化

 精密金型部品は小型化、微細化が進んでおり、ますます機械の精度アップが必要不可欠となっていることから、 各軸の位置決め精度と追従性を上げている。前後、上下送り軸の案内面は高精度リニアガイドを採用し、 取付け面の摺合わせによる精度出しにより、当社、上位機種であるWINSTARと同等の追従性を実現することができた。 また、標準仕様の光学式スケールは分解能を0.10μmから0.05μmに上げ、更に内挿精度を極小に抑えている。 図4は0.1μm×7段送りの追従性であるが、ロストモーションの少ないきれいな階段形状である。 図5は円弧補間精度であるが、真円度で0.5μm、変動幅0.2μm以下を達成している。

<前後送り (X軸)>
図4 MEISTER G3 0.1μm送り追従性<前後送り(X軸)>
<上下送り (Y軸)>
図4 MEISTER G3 0.1μm送り追従性<上下送り(Y軸)>
図4 MEISTER G3 0.1μm送り追従性
図5 円弧補間精度
図5 円弧補間精度



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