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1.2 高精度化
精密金型部品は小型化、微細化が進んでおり、ますます機械の精度アップが必要不可欠となっていることから、
各軸の位置決め精度と追従性を上げている。前後、上下送り軸の案内面は高精度リニアガイドを採用し、
取付け面の摺合わせによる精度出しにより、当社、上位機種であるWINSTARと同等の追従性を実現することができた。
また、標準仕様の光学式スケールは分解能を0.10μmから0.05μmに上げ、更に内挿精度を極小に抑えている。
図4は0.1μm×7段送りの追従性であるが、ロストモーションの少ないきれいな階段形状である。
図5は円弧補間精度であるが、真円度で0.5μm、変動幅0.2μm以下を達成している。
| <前後送り (X軸)> |
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| <上下送り (Y軸)> |
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| 図4 MEISTER G3 0.1μm送り追従性 |
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| 図5 円弧補間精度 |
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