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図6はコンタリング研削による5μmのV山形状加工事例である。高さの寸法誤差は10nmを達成している。
図7は総形砥石のプランジ研削によるV山形状加工事例である。頂点でのピッチ精度は1.2μm、高さの寸法誤差は0.2μmを達成している。
V山加工のドレッシングは両持ちツインロータリードレッサ装置を使用している。
図8は狭ピッチ研削による溝加工事例である。砥石の幅決めドレッサは両頭式ロータリードレッサ(TD-100)図9を使用し、溝幅0.08oが成形可能である。
ワーク材質:SKD11
ワークサイズ:10×16×50mm
使用砥石:#120
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| 図6 MEISTER G3 5μm V山コンタリング研削 |
図7 MEISTER G3 総形プランジ研削 |
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| 図8 0.08mm 狭ピッチ溝用砥石成形 |
図9 両頭式ロータリードレッサ (TD-100) |
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